Интеллектуальный расходомер массы
Применение и особенности
Контроллер потока массы (Mass Flow Controller, сокращенно MFC) используется для точного измерения и контроля потока массы газа. Они играют важную роль в производстве полупроводников и интегральных схем, специальных материалов, химической промышленности, а также в научных исследованиях и производстве в различных областях промышленности, медицины, * * и вакуумных ламп. Его типичные случаи применения включают: электронные технологические устройства, такие как диффузия, экстенсивность, CVD、 Окисление, плазменное травление, распыление, ионная имплантация; А также оборудование для нанесения покрытия, волоконно - оптическая плавка, микрореакторная установка, газораспределительная система смешивания, капиллярная съемка, газовая хроматография и другие аналитические приборы.
Основные технические показатели
Диапазон измерений (20,30, 50100200300500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Точность + 1,5% F.S
Линейный + 0,5 ~ 1,5% F.S
Точность повторения + 0,2% F.S
Время отклика 10sec Газовые характеристики: (1–4) sec
Рабочий перепад давления 0,1 ~ 0,5 МПа
Давление 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Температура рабочей среды от 0 до 70°C
Цифровой протокол RS485 MODBUS
Моделирование DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA необязательно
Электрические характеристики: SLM
Электричество DC + 15V / 24V необязательно, расходомер < 50 мА, контроллер < 200 мА
Электрическое соединение DB15
Коэффициент утечки 1×10 SCSHe
316L нержавеющая сталь
Фторированный каучук, бутадиен, хлорбутадиен
Соединение газовой магистрали 3, 6, 10, 1 / 8 ", 1 / 4", 3 / 8 "
Примечание: расходомеры массы и контроллеры потока массы обычно маркируются азотом (N2b).
Единицей потока массы является: SCCM (стандартный мл / мин.); SLM (стандартный литр / мин.)
Интеллектуальный расходомер массы