Преимущество
• Продукты CS100 разработаны с учетом специфики заказчика;
• Клиент может выбрать 15V двойной или + 24 одиночный источник питания по мере необходимости;
• металлическое или резиновое уплотнение;
• Размеры продукции могут быть выбраны из продуктов, соответствующих международно признанным стандартам SEMI, или из продуктов жесткой экономии.
Технические параметры
CS100 |
||||||||||||||
Тип |
CS100A |
CS100D |
||||||||||||
Тип клапана |
Постоянная блокада |
Нет |
Постоянная блокада |
Нет |
||||||||||
Технические характеристики потока (N2) |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
||||||||||||
Точность |
± 1,0% S.P. (35% F.S.); ± 0,35% F.S. (< 35% F.S.) |
|||||||||||||
Линейный |
±0,5% F.S. |
|||||||||||||
Точность повторения |
± 0,2% F.S. |
|||||||||||||
Время отклика |
≤ 1sec |
|||||||||||||
Диапазон рабочих перепадов давления |
0.05~0.35MPa; Спецификация трафика 10 SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa; Спецификация трафика 10 SLM |
<0.02 MPa |
||||||||||
Коэффициент температуры |
Нулевая точка: ± 0,05% F.S / °C; При регулировке: ±0,1% F.S / °C |
|||||||||||||
Давление |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
||||||||||
Коэффициент утечки |
1 х 10-9Pa·m3/ Sec He (1×10)-8atm·cc / sec He) |
|||||||||||||
уплотняющий материал |
Фторированный каучук |
Металлическое уплотнение |
||||||||||||
Максимальное рабочее давление |
0.45MPa |
|||||||||||||
Температура рабочей среды |
(5 - 45) °С |
|||||||||||||
Входной сигнал |
Моделирование: |
Цифра: RS485 |
Нет |
Нет |
Моделирование: |
Цифра: RS485 |
Нет |
Нет |
||||||
выходной сигнал |
Моделирование: |
Цифра: RS485 |
Моделирование: (0 - 5) VDC |
Цифра: RS485 |
Моделирование: |
Цифра: RS485 |
Моделирование: |
Цифра: RS485 |
||||||
форма разъема питания |
Тип D 9 игл Тип D 15 игл |
Тип D 9 игл О - образный 3 - й шприц |
Тип D 15 игл |
Тип D 9 игл Тип D 15 игл |
9 - игольчатый штуцер типа D; О - образный 3 - шприц |
15 - контактный штуцер типа D |
Тип D 9 игл Тип D 15 игл |
Тип D 9 игл О - образный 3 - й шприц |
Тип D 15 игл |
Тип D 9 игл Тип D 15 игл |
9 - игольчатый штуцер типа D; О - образный 3 - шприц |
15 - контактный штуцер типа D |
||
Источник питания |
±15В |
±15В |
+24V |
±15В |
±15В |
+24V |
±15В |
±15В |
+24V |
±15В |
±15В |
+24V |
||
Автоматическая чистка |
Поддержка |
|||||||||||||
шероховатость поверхности |
25μinch Ra |
|||||||||||||
Стандартная форма соединения |
Двойной патрон Фи 6; Двойной патрон Фи 3; Двойной чехол 1 / 4; Двойной чехол 1 / 8; Соединение VCR1 / 4′; фит 6 (внутренний) x1 шланговые соединения; фит 5 (внутри) x1.5 шланговые соединения; фит 4 (внутренний) x1 шланг |
VCR1 / 4″ Соединение |
||||||||||||
Вес |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |